La nanofabricación es el diseño y fabricación de dispositivos con dimensiones medidas en nanómetros. Un nanómetro es una millonésima de milímetro. Los temas de interés para la nanofabricación son todos los aspectos de los métodos litográficos que apuntan desde la escala submicrónica a la nanoescala y la aplicación de las estructuras y dispositivos creados en experimentos físicos y biomédicos. La nanofabricación es de interés para los ingenieros informáticos porque abre la puerta a microprocesadores y chips de memoria de densidad súper alta. Se ha sugerido que cada bit de datos podría almacenarse en un solo átomo. La división de la nanotecnología que implica el estudio y aplicación de nanoestructuras se denomina Nanofabricación. En los últimos años se han producido importantes avances en los métodos utilizados para fabricar dispositivos a nanoescala. Los métodos incluyen litografía por haz de electrones, deposición de capas atómicas y deposición de vapor molecular. Todas estas técnicas son extensiones del avance científico general, a diferencia de los métodos que han sido ideados con el único propósito de fabricar nanodispositivos.