Revista de ciencia de la energía nuclear y tecnología de generación de energía

Características operativas de una fuente de iones de baja energía por pulverización catódica

Hikmat A Hamad, Nibras F Ali y Haitham M Farok

Características operativas de una fuente de iones de baja energía por pulverización catódica

En este trabajo se diseña y construye una fuente de iones Freeman modificada, utilizada para la pulverización catódica de iones. La elección de esta fuente de iones se basó en su notable éxito en la industria de semiconductores empleando técnicas de implantación de iones. Se proporciona una descripción técnica detallada del diseño y la fabricación de la fuente de iones. Se realizaron mediciones de corriente de emisión termoiónica y se monitorearon de cerca las características de descarga de la fuente de iones. Además, se estudiaron los efectos de algunos parámetros como el voltaje de pulverización catódica, la presión, la intensidad del campo magnético, el voltaje del arco y la corriente del filamento en el valor de la corriente del electrodo pulverizado. Se encontró que estos parámetros se pueden variar de forma independiente, lo que nos permite controlar el funcionamiento de la fuente de iones y el proceso de pulverización catódica. Los resultados primarios de los haces de iones extraídos, utilizando una placa de extracción de acero inoxidable simple, muestran una reducción en la corriente total del haz de iones detectada durante el proceso de pulverización catódica.